高真空扩散泵控制系统 pecvd设备

一、操作便捷性：

抽气口及气路连接口采用KF式快速连接结构。简化安装过程，只需用卡箍便可完成连接，方便操作

二、控制智能化

1、采用数显真空计，配合热电偶规管采集数据。测量精度高、稳定性好、抗干扰能力强、真空度显示采用科学计数法，数字显

示，使用方便直观。

2、该系统采用扩散泵系高压强耐冲击，与专用的控制电源配套使用，提高了使用的可靠性，尤其当炉管密封系统与在使用过程

中的大气相通，导致系统会自动停止工作，待炉管密封系统恢复正常仍可使用。

三、结构实用性：

1、内置双极旋片式机械真空泵，有效地提高了抽气效率。

2、本身作为真空控制系统的同时，也可作为活动平台使用，方便放置电炉及其它设备。

四、周边扩展性：

1、该真空控制系统可与公司生产的真空/气氛管式电炉及真空/气氛箱式电炉。

2、该真空控制系统可与公司生产的气体流量控制系统组合使用。

3、该系统可作为真空获得设备独立使用。

产品用途：该系列产品应用在我公司生产的真空/气氛管式电炉及真空/气氛箱式电炉等设备上。是对炉管及箱体抽取真空、真空

测量与自动控制为一体的真空控制系统总成。设备为用户提供了具有真空度可控的实验环境。